승민씨가 정리해준 내용
주로 많이 접하게 되는 용어가 EIN, ECN인데 Full Spelling은 다음과 같습니다.
* EIN(Engineer Inform Note) : 5Lot(lLot 25매) 이내의 wafer를 시험 생산하여 수율을 기존 장비와 비교하는 단계
* ECN(Engineer Confirm Note) : 수십~수백Lot의 wafer를 생산하여 최종적으로 양산성을 Confirm하는 단계
따라서, 실제로는 EIN을 거친 후 ECN를 수행하게 됩니다.
예를 들면, FN90(Flash Nand 메모리, 미세공정도 90nm) EIN을 수행하여 OK되면 FN90 ECN를 수행하게 됩니다.
일반적으로 EIN은 1~2개월, ECN은 0.5~1개월 정도 소요됩니다.
하지만, 장비(HDP CVD, Dry Etcher)가 FN70을 목표로 하고 있다면
FN90 EIN, ECN을 완료한 후 다시 FN70 EIN부터 시작하고 이것이 완료되면 FN70 ECN을 수행하게 됩니다. |
|
|
