[Profile]     [Board]     [Photo]     [Calendar]     [Guestbook]     [Links]


  ·Î±×ÀΠ
Àüü | my thought (12)  my articles (9)  humor (2)  notice (1)  information (83)  etc (44)  Kong-i (1)  Game (8) 
Yongwoo
[Æß]Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ý(Neutron Radiography)
Á¶È¸¼ö | 737
ÀÛ¼ºÀÏ | 04.09.09

 

 

 

±è¹«È¯
¿øÀÚ·Â Àü¹®À§¿ø
mhkim@kistep.re.kr

 

I. ¼­·Ð

¿øÀÚ·ÂÀº ¿øÀÚÇÙ º¯È¯¿¡¼­ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿¡³ÊÁö¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î, Å©°Ô Çٺп­°ú ÇÙÀ¶ÇÕÀ¸·Î ³ª´­ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¸Áö¸¸, ÇÙÀ¶ÇÕÀÇ ½ÇÁúÀû ÀÌ¿ëÀº ¾ÆÁ÷ ¸¹Àº ¿¬±¸¸¦ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ´Ü°èÀ̸ç, ½Ç»ýÈ°¿¡ ¾²ÀÌ´Â ´ëºÎºÐÀÇ ¿øÀÚ·ÂÀº Çٺп­ ¹ÝÀÀÀÇ °á°ú·Î ¹ß»ýÇÏ´Â ´Ù·®ÀÇ Áú·®°á¼Õ ¿¡³ÊÁö¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â Çٺп­ÀÌ ´ëºÎºÐÀÌ´Ù. ¿øÀÚ·Â ¿¬±¸´Â Å©°Ô ¿øÀڷο¡¼­ ¹ß»ýµÇ´Â ¿­À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àü±â¸¦ »ý»êÇÏ´Â ¹ßÀü ºÐ¾ß¿Í, ¹æ»ç¼±À» ÀÇÇаú °øÇÐ ¹× ³ó¾÷¿¡ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ºñ¹ßÀü ºÐ¾ß·Î ³ª´­ ¼ö ÀÖ´Ù. ±× Áß¿¡¼­µµ Çٺп­ °úÁ¤ Áß ¹ß»ýÇÏ´Â Áß¼ºÀÚ(Neutron)¸¦ ÀÌ¿ëÇϸé Áö±Ý±îÁö º¼ ¼ö ¾ø¾ú´ø ±Ý¼Ó ³»ºÎÀÇ Çü»óÀ» ¼Õ½±°Ô °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ±× ºÐÇØ´É(resolution)µµ ³Ã Áß¼ºÀÚ(cold neutron)¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é ¼ö angstrom¿¡ ´ÞÇÒ ¼ö ÀÖ¾î nano °ü·Ã ¿¬±¸ µî¿¡¼­ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ±â ½ÃÀÛÇÏ°í ÀÖ¾î ¿©±â¿¡ ¼Ò°³ÇÑ´Ù.


II. º»·Ð

Áß¼ºÀÚ´Â ¿øÀÚÇÙÀ» ±¸¼ºÇÏ´Â ±âº» ÀÔÀÚ Áß Çϳª·Î, 1932³â James Chadwick¿¡ ÀÇÇØ ¹ß°ßµÇ¾úÀ¸¸ç, ±× À̸§¿¡¼­ ¾Ë ¼ö ÀÖµíÀÌ Àü±âÀûÀ¸·Î Áß¼ºÀ̶ó´Â µ¶Æ¯ÇÑ Æ¯¼º ¶§¹®¿¡ ¿©·¯ ºÐ¾ß¿¡¼­ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ±×¸² 1Àº X-¼±, ÀüÀÚ, ±×¸®°í Áß¼ºÀÚ°¡ ¹°Áú°ú Ãæµ¹ÇÒ ¶§ÀÇ ³ªÅ¸³ª´Â »ê¶õƯ¼ºÀ¸·Î, X-¼±À̳ª ÀüÀÚÀÇ °æ¿ì ¹°ÁúÀ» ±¸¼ºÇÏ´Â ÀüÀÚ¿ÍÀÇ »óÈ£ÀÛ¿ë ¶§¹®¿¡ ¹°Áú ³»·Î ±íÀÌ Åõ°úÇϱ⠾î·Æ´Ù. ±×·¸Áö¸¸ Áß¼ºÀÚ´Â ÀüÀÚ¿Í Àü±âÀûÀ¸·Î ¹ÝÀÀÇÏÁö ¾Ê°í ¹°ÁúÀÇ ¿øÀÚÇÙ°ú ÁÖ·Î ¹ÝÀÀÇϱ⠶§¹®¿¡ ´Ù¸¥ ¹æ»ç¼±¿¡ ºñÇؼ­ ħÅõ ±íÀÌ°¡ »ó´ëÀûÀ¸·Î ±í´Ù. µû¶ó¼­, Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °íºÐÇØ´É Áß¼ºÀÚ ºÐ¸» ȸÀý ÀåÄ¡(High Resolution Power Diffractometer), Áß¼ºÀÚ ¼Ò °¢»ê¶õ ÀåÄ¡(Small Angle Neutron Spectrometer) ¹× Áß¼ºÀÚ ¿µ»ó ÀåÄ¡(Neutron Image)µîÀ» ÀÌ¿ëÇؼ­ X-¼±, ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ µîÀ¸·Î ±¸ºÐÇϱâ Èûµç ¹°ÁúÀÇ ±¸Á¶¸¦ ¹àÈ÷´Âµ¥ »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.

±×¸²1. Áß¼ºÀÚ, X-¼±, ÀüÀÚÀÇ »ê¶õ Ư¼º


Çй®ÀûÀÎ ¸ñÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÏ´Â ´ëºÎºÐÀÇ Áß¼ºÀÚ´Â °¡¼Ó±â³ª ¹æ»ç¼± µ¿À§¿ø¼Ò µîÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© »ý¼ºÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸³ª, ¿øÀڷο¡¼­ Çٺп­·Î ¹ß»ýµÇ´Â Áß¼ºÀÚ´Â °­µµ°¡ ³ô°í ±ÕÀÏÇÏ¿© ÇöÀç °¡Àå ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. Áß¼ºÀÚ´Â ¿¡³ÊÁö ¼öÁØ¿¡ µû¶ó¼­ °í¼Ó Áß¼ºÀÚ(Fast Neutron), ¿­ Áß¼ºÀÚ(Thermal Neutron) ±×¸®°í ³Ã Áß¼ºÀÚ(Cold Neutron)·Î Å©°Ô ³ª´­ ¼ö ÀÖ´Ù. Çٺп­ Ãʱ⿡ »ý¼ºµÇ´Â °í¼Ó Áß¼ºÀÚ´Â ±× ¿¡³ÊÁö°¡ ³Ê¹« Ä¿¼­, ´ëºÎºÐÀÇ ¹°ÁúÀ» ³Ê¹« ½±°Ô Åõ°úÇϱ⠶§¹®¿¡ ¿¬±¸¿ëÀ¸·Î ÀÌ¿ëÇϱⰡ ½±Áö ¾Ê´Ù. ±×·¡¼­ Áß¼ö µîÀÇ °¨¼ÓÀ縦 »ç¿ëÇؼ­ ¿¡³ÊÁö¸¦ ³·Ãá °ÍÀ» ¿­ Áß¼ºÀÚ, ÀÌ·¯ÇÑ ¿­ Áß¼ºÀÚ¸¦ ¾×ü ¼ö¼Ò µîÀ» ÀÌ¿ëÇؼ­ ¿¡³ÊÁö¸¦ ´õ ³·Ãá °ÍÀÌ ³Ã Áß¼ºÀÚÀÌ´Ù. ÇöÀç °¡Àå ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â Áß¼ºÀÚ´Â ¿­Áß¼ºÀÚ·Î ±× Ư¼ºÀº ±×¸² 2¿¡ Àß ³ªÅ¸³ª ÀÖ´Ù. X-¼±ÀÇ °æ¿ì ¿øÀÚ¹øÈ£°¡ Áõ°¡ÇÒ¼ö·Ï Èí¼ö °è¼ö°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â °æÇâÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖÁö¸¸, ¿­ Áß¼ºÀÚÀÇ °æ¿ì ºÒ±ÔÄ¢ÇÑ Æ¯¼ºÀ» º¸À̸ç, µ¿À§¿ø¼Ò³¢¸®µµ Èí¼ö °è¼öÀÇ Â÷ÀÌ°¡ Å©°í, ƯÈ÷ °¡º­¿î ¹°ÁúÀÎ ¼ö¼ÒÀÇ Èí¼ö °è¼ö°¡ »ó´çÈ÷ ³ô´Ù.

±×¸² 2. Áß¼ºÀÚ¿Í X-¼±ÀÇ Áú·® Èí¼ö °è¼ö ºñ±³


ÀÌ °°Àº ¿­ Áß¼ºÀÚÀÇ ¼ºÁúÀ» ÀÌ¿ëÇÏ°í ÀÖ´Â ºÐ¾ß Áß °¡Àå ´ëÇ¥ÀûÀÎ °ÍÀÌ Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ý(Neutron Radiography)ÀÌ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÎ ºñÆı« °Ë»ç ¹æ¹ýÀÎ X-¼±¹ý°ú Áß¼º»ç ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀÇ Â÷ÀÌÁ¡Àº ±×¸² 3¿¡ Àß ³ªÅ¸³ª ÀÖ´Ù. ±×¸² 3Àº Ä«¸Þ¶óÀÇ ³»ºÎ¸¦ Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ý°ú X-¼±¹ýÀ¸·Î °¢°¢ ÃÔ¿µÇÑ °á°ú¸¦ ºñ±³ÇÑ °ÍÀ¸·Î Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀÇ °æ¿ì ±Ý¼ÓÀ» Àß Åõ°úÇÏ´Â Áß¼ºÀÚÀÇ ¼ºÁú ¶§¹®¿¡ ±Ý¼Ó ³»ºÎ¸¦ Àß º¼ ¼ö ÀÖÁö¸¸, X-¼±ÀÇ °æ¿ì ±Ý¼ÓÀ» Àß Åõ°úÇÏÁö ¸øÇϱ⠶§¹®¿¡ ÀüüÀûÀ¸·Î °Ë°Ô ³ª¿Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¸Áö¸¸ °íºÐÀÚ ¹°ÁúÀÎ, Çöó½ºÆ½ÀÇ °æ¿ì¿¡´Â ¹Ý´ë Çö»óÀÌ ³ªÅ¸³ª´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.

ÀÌó·³ ±Ý¼Ó ³»ºÎÀÇ °¡½ÃÈ­°¡ °¡´ÉÇÑ Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýµµ ÃÖ±Ù±îÁö´Â Áß¼ºÀÚ¼Ó(Neutron Flux)ÀÌ ³·¾Æ ºñ±³Àû Àå½Ã°£ÀÇ ³ëÃâÀÌ °¡´ÉÇÑ Ç×°ø±â³ª ¼±¹ÚµîÀÇ ºÎ½ÄÀ̳ª ±Õ¿­µî¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ¾î ¿Ô´Ù. ±×·¸Áö¸¸, ÃÖ±Ù µé¾î °í¼º´É ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚ·ÎÀÇ °³¹ß·Î Áß¼ºÀÚ¼ÓÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í, Áß¼ºÀÚ¸¦ °¡½Ã±¤¼±À¸·Î ¹Ù²ãÁÖ´Â Àüȯ¸·ÀÇ ¹ß´Þ°ú ±âÁ¸ÀÇ CCD Ä«¸Þ¶ó¿Í °áÇÕÇÏ¿© 100 ¥ìm ºÐÇØ´ÉÀ¸·Î ½Ç½Ã°£ °üÂûÀÌ °¡´ÉÇÑ ¼öÁرîÁö ¹ßÀüÇÏ¿©, ±× È°¿ë ¹üÀ§°¡ Á¡Â÷ ³Ð¾îÁö°í ÀÖ´Ù.

a) Áß¼ºÀÚ

b) X-¼±

±×¸² 3. Áß¼ºÀÚ¿Í X-¼± ÃÔ¿µ¹ýÀÇ À̹ÌÁö Â÷ÀÌ(Ä«¸Þ¶ó:PSI, ½ºÀ§½º)


ÃÖ±Ù µé¾î ÁÖ¸ñ ¹Þ´Â Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀÇ È°¿ë ºÐ¾ß Áß Çϳª´Â ¿¡³ÊÁö º¯È¯ È¿À²ÀÌ ³ô°í, ȯ°æ ģȭÀûÀ̱⠶§¹®¿¡ È­¼® ¿¬·áÀÇ ´ëü ¿¬·á·Î °¢±¤¹Þ°í ÀÖ´Â ¿¬·áÀüÁö ºÐ¾ßÀÌ´Ù. ¿¬·áÀüÁö´Â À½±Ø°ú ¾ç±Ø¿¡¼­ °ø±ÞµÇ´Â ¼ö¼Ò¿Í »ê¼Ò°¡ °áÇÕÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼­ Àü±â¸¦ »ý¼ºÇÏ°í, ±× ºÎ»ê¹°·Î ¹°°ú ¿­À» ¹ß»ýÇÏ°Ô µÇ´Âµ¥, ÀÌó·³ ºÎ»ê¹°·Î ¹ß»ýµÇ´Â ¹°ÀÇ ¾ç°ú ºÐÆ÷¿¡ µû¶ó¼­ ¿¬·áÀüÁö ½Ã½ºÅÛ È¿À²¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä¡°Ô µÈ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ °¡½ÃÈ­ ±â¹ý(X-¼±¹ø, ÃÊÀ½ÆĹý)À¸·Î´Â º¸±â Èûµç ¿¬·áÀüÁöÀÇ ³»ºÎ¸¦ Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© °¡½ÃÈ­ÇÏ¿© ÀûÀýÇÑ ¹° °ü¸®(Water Management)°¡ °¡´ÉÇÏ°Ô µÇ°í, À̸¦ Åä´ë·Î ¿¬·áÀüÁöÀÇ È¿À²À» Çâ»ó ½ÃÅ°±â À§ÇÑ ¿¬±¸°¡ ¼¼°èÀûÀ¸·Î ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. ±×¸² 4´Â Æ÷Ç×°ø°ú´ëÇб³¿Í Çѱ¹ ¿øÀÚ·Â ¿¬±¸¼Ò°¡ Çù·ÂÇÏ¿© ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚ·ÎÀÎ <Çϳª·Î>¿¡ ¿¬·á ÀüÁö ½ÇÇè ÀåÄ¡¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ°í ¿¬·áÀüÁöÀÇ ³»ºÎ¸¦ °üÂûÇÑ °á°úÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ¿¬·áÀüÁö ³»ºÎ ¹°ÀÇ È帧À» ÃÖÀûÈ­ ÇÏ¿© Àüü ½Ã½ºÅÛ È¿À² Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â ¿¬±¸ °á°úÀÇ ÀϺημ­, Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀ¸·Î ¾òÀº À½±ØÀÇ Ã¤³ÎÀ» È帣´Â ¹°Àº Èò»öÀ¸·Î, °ø±â´Â °ËÁ¤ »öÀ¸·Î ³ªÅ¸³ª ÀÖ´Ù.

±×¸² 4 ¿¬·áÀüÁö À½±Ø¿¡¼­ÀÇ ¹°ÀÇ ºÐÆ÷ (POSTECH°ú Çѱ¹¿øÀڷ¿¬±¸¼Ò)

±×·¸Áö¸¸ Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀº ´ë»ó ¹°Ã¼¸¦ 2Â÷¿øÀûÀ¸·Î °Ë»çÇϱ⠶§¹®¿¡ ȹµæÇÑ ¿µ»óÀ» ÅëÇÏ¿© ÃøÁ¤ ¹°Ã¼ÀÇ Á¤È®ÇÑ À§Ä¡¸¦ 3Â÷¿øÀûÀ¸·Î ÆľÇÇϱⰡ Èûµé´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ±×·¡¼­ 2Â÷¿ø Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀ» 3Â÷¿øÀ¸·Î À籸¼ºÇÏ·Á´Â 3D Åä¸ð±×·¡ÇÁÀÇ °³¹ßÀÌ ÁøÇà µÇ°í ÀÖ´Ù. ±×¸² 5´Â 3D Åä¸ð±×·¡ÇÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±â¾î¸¦ 3Â÷¿øÀ¸·Î À籸¼ºÇÑ °ÍÀ¸·Î, ±â¾î¸¦ ±¸¼ºÇÏ°í ÀÖ´Â °¢ ºÎºÐµéÀÇ À§Ä¡¿Í ¸ð¾çÀ» Á¤È®È÷ ±¸º°ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¸Áö¸¸ ÇöÀç´Â À籸¼ºÇϴµ¥ ¸¹Àº ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµÇ±â ¶§¹®¿¡ ªÀº ½Ã°£¿¡ ÀϾ´Â Çö»óÀ» ¿¬±¸ÇÏ´Â °÷¿¡´Â Àû¿ëÇϱ⠾î·Á¿ö Á¤ÁöµÇ¾ú°Å³ª, ÃøÁ¤ ½Ã°£¿¡ ºñÇØ ¸Å¿ì õõÈ÷ ¿òÁ÷ÀÌ´Â °æ¿ì¸¸ °¡´ÉÇÏ´Ù. ±×·¸Áö¸¸ ÇâÈÄ À籸¼ºÇÏ´Â ±â¹ý°ú Áß¼ºÀÚÀÇ fluxÀÇ ¹Ðµµ Áõ°¡, Àüȯ¸·ÀÇ °íÈ¿À²È­ µîÀ» ÅëÇÏ¿©, »ç¿ë ¹üÀ§°¡ ºü¸£°Ô È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù.

±×¸² 5. 3Â÷¿ø Åä¸ð±×·¡ÇÁ(±â¾î: NIST ¹Ì±¹)


Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¿¬±¸ Áß¿¡´Â Áß¼ºÀÚ°¡ X-¼±Ã³·³ °¡Áö´Â ¹°ÁúÆÄÀÇ ¼ºÁúÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Áß¼ºÀÚ°¡ ¹æÃâµÇ´Â °÷ÀÇ Áö¸§À» ¼ö mm·Î ¸¸µç ÇÉȦ(Pinhole)À» »ç¿ëÇÏ¿© ÀÛÀº ¹°Ã¼ÀÇ ±¸Á¶¸¦ ºÐ¼®ÇÏ·Á´Â Phase Contrast°¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ °æ¿ì Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýº¸´Ù ÈξÀ ÀÛÀº ¼ö ~ ¼ö½Ê ¥ìm ¼öÁرîÁö ¸íÈ®ÇÏ°Ô ±¸º°ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×¸² 6Àº Phase Contrast¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹ú°ú ³¬½ÃÃßÀÇ ³»ºÎ ±¸Á¶¿¡ ´ëÇÑ ¿µ»óÀ» ¾òÀº °ÍÀÌ´Ù. °¡¿îµ¥ ±×¸²Àº Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¾òÀº ¿µ»óÀ¸·Î ÃøÁ¤ ´ë»óÀÌ ÀÛ°í ±¸¼º ¹°Áú°£ÀÇ Èí¼ö °è¼öÂ÷ÀÌ°¡ À۱⠶§¹®¿¡ °æ°è¸éÀ̳ª ³»ºÎÀÇ ¸ð½ÀÀ» ¸íÈ®ÇÏ°Ô º¼ ¼ö ¾øÁö¸¸, Phase Contrast¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¿À¸¥ÂÊ ±×¸²ÀÇ °æ¿ì °æ°è¸éÀ» ¸íÈ®ÇÏ°Ô º¼ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.

±×¸² 6. Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Phase Contrast(³¬½ÃÃß¿Í ¹ú: NIST, ¹Ì±¹)


Áß¼ºÀÚ´Â ±¸Á¶¹° ³»ÀÇ ±Õ¿­, ºÎ½Ä °°Àº ±¸Á¶¹°ÀÇ ¾ÈÀü¼º °Ë»ç ÀÌ¿Ü¿¡µµ ±×¸² 7°ú ±×¸² 8ó·³ Ä«³×ÀÌ¼Ç °°Àº ½Ä¹° ³»ÀÇ ¼öºÐ À̵¿À̳ª ´Ü¹éÁúÀÇ ±¸Á¶ ºÐ¼® °°Àº »ý¸í ¿¬±¸ ºÐ¾ß, ±×¸®°í ÃÊÀüµµÃ¼, Çü»ó ±â¾ï ÇÕ±Ý, ½Å¾à µî ´Ù¾çÇÑ »õ·Î¿î ¹°ÁúÀ» °³¹ßÇϴµ¥ ÀÌ¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¸Ó¸®Ä«¶ô ÇÑ ¿Ã°°ÀÌ ¹Ì·®ÀÇ ½Ã·á ¼Ó¿¡ µé¾î ÀÖ´Â ±Ø¹Ì·®ÀÇ ¿ø¼ÒµéÀ» ºÐ¼®ÇÏ¿© Áß±Ý¼Ó ¿À¿° Á¤µµ, ¿µ¾ç »óÅ µî ¸Å¿ì À¯¿ëÇÑ Á¤º¸¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.

±×¸² 7. Ä«³×À̼dz»ÀÇ ¼öºÐ ºÐÆ÷(Çѱ¹¿øÀڷ¿¬±¸¼Ò)

±×¸² 8. Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ºÐ¼®ÇÑ ´Ü¹éÁúÀÇ ±¸Á¶(ÀϺ»¿øÀڷ¿¬±¸¼Ò)

ÀÌó·³ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼­ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Â Áß¼ºÀÚ°¡ ÃÖ±Ù¿¡´Â ¿­ Áß¼ºÀÚº¸´Ù ¼º´ÉÀÌ ÁÁÀº ³Ã Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ´õ ÀÛÀº ¿µ¿ªÀ», ´õ ªÀº ½Ã°£¿¡ º¸·Á´Â ½Ãµµ°¡ Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ±×¸² 9Àº Áß¼ºÀÚÀÇ ¿¡³ÊÁö°¡ ³·¾ÆÁú ¶§, Áß¼ºÀÚ¼ÓÀÌ Áõ°¡ÇÏ´Â Á¤µµ¸¦ º¸¿©ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î ºÓÀº ¼±Àº ¿­ Áß¼ºÀÚ, ÆĶõ ¼±Àº ³Ã Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀǹÌÇÑ´Ù. ÀÌó·³ ³Ã Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÒ °æ¿ì ¿­ Áß¼ºÀÚº¸´Ù Áß¼ºÀÚ¼ÓÀÌ Áõ°¡ÇÏ°Ô µÇ°í, ÃøÁ¤ ´ë»ó ¹°Ã¼ÀÇ Èí¼ö °è¼ö°¡ ¿­ Áß¼ºÀÚ¿¡ ºñÇØ Áõ°¡ÇÏ°Ô µÇ¾î ÀåÆÄÀå Àú¿¡³ÊÁöÀÇ ³Ã Áß¼ºÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇϸé, °ø°£ ºÐÇØ´ÉÀÌ ¿­Áß¼±ÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÒ ¶§ÀÇ ¼ö½Ê ~ ¼ö¹é ¥ìm¿¡¼­ ¼ö¹é nm ~ ¼ö ¥ìmÀÇ ¼öÁØÀ¸·Î Çâ»ó µÇ¾î nano ºÐ¾ßÀÇ ¿¬±¸¿¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó, ¿ì¸®³ª¶ó¿¡¼­µµ ÀÌ·± ¼¼°èÀûÀÎ Ãß¼¼¿¡ ¹ß¸ÂÃç Çѱ¹¿øÀڷ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¿¬±¸¿ë ¿øÀÚ·ÎÀÎ <Çϳª·Î>¿¡ ³Ã Áß¼ºÀÚ¸¦ À§ÇÑ ÀåÄ¡¸¦ Á¦ÀÛ ÁßÀÌ´Ù. ±×¸² 10Àº 2012³â¿¡ Çѱ¹¿øÀڷ¿¬±¸¼ÒÀÇ <Çϳª·Î>¿¡ ¼³Ä¡ ¿¹Á¤ÀÎ ³Ã Áß¼ºÀÚ ½ÇÇè ÀåÄ¡µµÀÌ´Ù.

 

±×¸² 9. ³Ã Áß¼ºÀÚ¼Ó°ú ¿­ Áß¼ºÀÚ¼Ó ºñ±³

 

±×¸² 10. 2012³â Çѱ¹ ¿øÀÚ·Â ¿¬±¸¼Ò¿¡ ¼³Ä¡ ¿¹Á¤ÀÎ ³Ã Áß¼ºÀÚ¿ë ½ÇÇè ÀåÄ¡µé

III. °á·Ð

À§¿¡¼­ »ìÆ캻 ´ë·Î ¿À´Ã³¯ ¿øÀڷηκÎÅÍ ¾ò¾îÁö´Â Áß¼ºÀÚ´Â ±× µ¿¾È x-ray µîÀ¸·Î °üÂûÇÒ ¼ö ¾ø¾ú´ø ±Ý¼Ó ³»ºÎ Çü»óµéÀÇ À̹ÌÁö¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ÃÖ±Ù¿¡ Áß¿äÇÑ ¿¬±¸ ´ë»óÀÎ ¿¬·á ÀüÁö µîÀÇ °³¹ß¿¡¼­ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÏ´Â µî, ¸¶ÀÌÅ©·Î ½ºÄÉÀÏÀÇ ÀÌ¿ëÀº ÀÌ¹Ì ¸Å¿ì È°¹ßÇÑ »óȲÀÌ´Ù. ´Ü Áß¼ºÀÚ flux °¡ ¸¸Á·ÇÒ ¸¸ÇÑ ¼öÁØÀÇ ¿øÀڷΰ¡ ¼¼°èÀûÀ¸·Î ºÎÁ·ÇÏ¿©, »ê¾÷ü¿¡¼­ À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ·Á¸é ¿Ü±¹¿¡¼­´Â ¼ö °³¿ù ³»Áö 1³â ÀÌ»óÀ» ±â´Ù·Á¾ß ÇÏ´Â Çö½ÇÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ ºñÇØ ±¹³»¿¡¼­´Â ±× µ¿¾È <Çϳª·Î>ÀÇ °³¹ß°ú ¿î¿µ¿¡ Á¤¼ºÀ» µé¿©¿Â °á°ú ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌ¿ëÀÌ ºñ±³Àû ¿ëÀÌÇÑ »óȲÀÓÀº ¸Å¿ì ±àÁ¤ÀûÀΠȯ°æÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ, ÃÖ±Ù ³Ã Áß¼ºÀÚ ¿¬±¸ ±â¹Ý ½Ã¼³À» ±¸ÃàÇÏ°í ÀÖ¾î À̸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ³ª³ë °ü·Ã ¿¬±¸ µî¿¡ ¸¹Àº ±â´ë¸¦ °É°í ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ ¾ÆÁ÷ ¿©±â¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±âº» ÃøÁ¤ Àåºñ³ª ½Ã¼³ÀÇ ±¸Ãà ³ë·ÂÀÌ ¿Ü±¹¿¡ ºñÇØ ¸¹ÀÌ ºÎÁ·ÇÑ »óȲÀ̾ ¸¹Àº ³ë·ÂÀÌ ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ´Ù. ³¡À¸·Î, ¿©±â¿¡ ¼Ò°³µÈ Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ý ÀÌ¿Ü¿¡µµ ¿øÀڷγª ¹æ»ç¼± ¹× Áß¼ºÀÚ µîÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Ã·´Ü ¿¬±¸ ºÐ¾ß´Â ¸Å¿ì ³Ð°í Èñ¸ÁÀûÀ̹ǷÎ, ¿øÀÚ·Â ½Ã¼³À» ÀÌ¿ëÇÑ °ü·Ã »ê¾÷°ú Çй® ¹ßÀü¿¡ ´ëÇÑ Áö¿ø°ú °ü½ÉÀº °è¼ÓµÇ¾î¾ß ÇÒ °ÍÀÌ´Ù.

 

 ¸ñ·Ïº¸±â
43  information |  [Æß]D70 ¹é°ú»çÀü  [81]  Yongwoo 05.01.09 2580
42  information |  [Æß]Thin Flim °ü·Ã  [568]  Yongwoo 04.12.14 7799
41  information |  [Æß]Sumif...^^   Yongwoo 04.12.08 1506
40  information |  [Æß]Blu-ray Disc  [73]  Yongwoo 04.11.11 226
39  information |  [Æß]À¯±âEL ÀÛµ¿¿ø¸®   Yongwoo 04.11.11 447
38  information |  [Æß]À¯±âEL °³¿ä   Yongwoo 04.11.11 203
37  information |  [Æß]Cache   Yongwoo 04.11.10 175
36  information |  [Æß]Laser Annealing  [470]  Yongwoo 04.11.09 2755
35  information |  [Æß]Reticle(Mask) Á¦Á¶  [667]  Yongwoo 04.11.06 18982
34  information |  [Æß]Ȧ·Î±×·¥ÀÇ ¿ø¸®   Yongwoo 04.10.27 206
33  information |  [Æß]À¯±âEL(OLED)-1  [4]  Yongwoo 04.10.26 358
32  information |  [Æß]BLU   Yongwoo 04.10.26 358
31  information |  [tip]¿¢¼¿¿¡¼­ ¿äÀÏ ¼³Á¤¿¡ °ü·ÃµÈ ¼ö½Ä ÀÌ¿ë   Yongwoo 04.10.15 233
30  information |  mask and reticle..??   Yongwoo 04.10.07 181
29  information |  [Æß]EIN, ECN  [15683]  Yongwoo 04.10.01 21811
28  information |  ¸Þ¸ð¸® ¿ë·®~   Yongwoo 04.09.20 122
27  information |  [Æß]BSC   Yongwoo 04.09.13 97
 information |  [Æß]Áß¼ºÀÚ ¹æ»ç¼± ÃÔ¿µ¹ý(Neutron Radiography)  [296]  Yongwoo 04.09.09 737
25  information |  [Æß]MEMS¶õ?  [506]  Yongwoo 04.09.09 2803
24  information |  [Æß]¹ÝµµÃ¼ Á¶¸³ °øÁ¤   Yongwoo 04.09.02 252
[1][2] 3 [4][5]
Copyright 1999-2024 Zeroboard / skin by MySSun.com